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脈沖激光沉積(Pulsed Laser Deposition,PLD),也被稱為脈沖激光燒蝕(Pulsed laser ablation,PLA)指的是用激光使材料揮發,從而將材料鍍在所要求的樣品(襯底)上的薄膜沉積技術。PLD-301脈沖激光沉積系統是日本誠南工業根據客戶的要求,在豐富經驗的基礎上設計制造的,采用PBN加熱器,可將基板加熱到1000℃以上,并采用氧氣氣氛,從而生產出高質量的薄膜。
更新時間:2023-12-19